Simulationstechnik, Prüflabor und technologische Ultraschallentwicklungen

Alle Vorhaben des Lehrstuhls werden durch technologische Ultraschallentwicklungen unterstützt. So gehört z.B. die akustische Simulation mit Finite Elemente Programmen (b) zu den Arbeiten des Lehrstuhls wie auch der Betrieb eines Ultraschallprüflabors.

In diesen Bereich fallen auch die Untersuchungen kapazitiver und piezoelektrischer mikromechanischer Ultraschallwandler (a). Bei diesen Wandlern werden mit Halbleiterherstellungsverfahren mikromechanische Membranen erzeugt, die über elektrische Felder zum Schwingen gebracht werden. Sie zeichnen sich durch eine hohe Bandbreite und sehr flexible Herstellung auch hochfrequenter Wandler aus, sind aber aufgrund ihrer elektromechanischen Eigenschaften schwierig ansteuerbar und bisher weniger sensitiv als herkömmliche Wandler sind.

Prototypen solcher Wandler werden von den Philips Research Labs Eindhoven zur Verfügung gestellt.

wandler

Simulation mikromechanischer Wandler